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发明名称 MICROFABRICATED RELAY WITH MULTIMORPH ACTUATOR AND ELECTROSTATIC LATCH MECHANISM
摘要
申请公布号 EP1527466(A1) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 EP20020759296 申请日期 2002.08.08
申请人 XCOM WIRELESS, INC. 发明人 HYMAN, DANIEL, J.;HYMAN, MARK, K.;BOGDANOFF, PETER, D.
分类号 B81B3/00;H01H1/00;H01H57/00;H01H59/00;H01H61/02;(IPC1-7):H01H1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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