| 发明名称 |
UNIFORM THIN FILMS PRODUCED BY MAGNETORHEOLOGICAL FINISHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1526948(A2) |
申请公布日期 |
2005.05.04 |
| 申请号 |
EP20030755733 |
申请日期 |
2003.08.04 |
| 申请人 |
QED TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
TRICARD, MARC;KORDONSKI, WILLIAM |
| 分类号 |
B24B1/00;B24B7/22;B24B31/112;B24B37/00;B24B49/12;C03C17/23;G01B11/06;G01B11/30;G01J9/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B49/00 |
主分类号 |
B24B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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