快速热处理系统排气压力控制方法

摘要

本发明揭示一种快速热处理(RTP)系统的排气压力控制方法，其中，一排气压力量测计被设置在快速热处理系统的主机体上，此排气压力量测计连接至快速热处理反应室排气管线，并具有一上限感测器及一下限感测器，以检视快速热处理系统的排气是否超出规格，在本方法中：当排气值超出规格时，讯号线会将讯号送到快速热处理系统，然后系统将会显示出警报讯息，以便通知操作人员来调整排气的调整器，藉此，能够将该快速热处理反应室的排气控制在预定的范围内，以利于制程中的压力控制。在将排气压力量测计添加入快速热处理排气系统中之后，人们能够控制处理室的排气，以便减少沉积于反射器上的某些物质，这将有利于制程中的压力控制，并且也可以减低PM频率。

主权项

1.一种快速热处理系统的排气压力控制方法，其中，一排气压力量测计被设置在快速热处理系统的主机体上，该排气压力量测计连接至快速热处理反应室排气管线，并具有一上限感测器及一下限感测器，以检视快速热处理系统的排气是否超出规格，在该方法中：当排气值超出规格时，讯号线会将讯号送到快速热处理系统，然后该系统将会显示出警报讯息，以便通知系统维护人员来调整排气系统的调整器，藉此，能够将该快速热处理反应室的排气控制在预定的范围内，以利于制程中的压力控制。