悬浮式自减振差动流量传感器

摘要

本发明的悬浮式自减振流量传感器包括对称固定在平板两面的检测单元，每个检测单元包括壳体，壳体具有与平板轴线m-m平行的通孔，该通孔与平板的轴向出线孔有通道相连通，通孔的两端分别有弹性膜片密封，通孔内有两个压电陶瓷片，两个压电陶瓷片的一端分别与弹性膜片固定，另一端与设在压电陶瓷片之间的金属块固定，两压电陶瓷片及金属块的周边与通孔壁之间留有间隙，金属块的引线经通道从平板出线孔引出。这种传感器具有较高的测量灵敏度，在小流量时利用差动原理仍可以给出较强的检测信号，其悬浮式的内部结构具有较强的抗振动性、有较大量程范围、可靠性高。

主权项

1.悬浮式自减振差动流量传感器，其特征在于包括对称固定在平板(6)两面的检测单元，每个检测单元包括壳体(5)，壳体(5)具有与平板轴线m-m平行的通孔(7)，该通孔(7)与平板的轴向出线孔(4)有通道(8)相连通，通孔(7)的两端分别有弹性膜片(1)密封，通孔内有两个压电陶瓷片(3)，两个压电陶瓷片的一端分别与弹性膜片(1)固定，另一端与设在压电陶瓷片之间的金属块(2)固定，两压电陶瓷片(3)及金属块(2)的周边与通孔壁之间留有间隙，金属块(2)的引线经通道(8)从平板出线孔(4)引出，上述的两个检测单元中的四个压电陶瓷片(3)的尺寸、质量和灵敏度系数都相同。