发明名称 输送材料到基片上的系统
摘要 一种输送材料(104)到基片(106)上的系统(100,150,160,202)包括具有盛装材料的容器(102)的喷射系统,容器包括材料从容器中喷出经过的喷嘴(108)。拱形部分(110,110’)位于容器和喷嘴之间。材料经过拱形部分和喷嘴从容器喷出。系统还用于在容器(102)中的材料上施加压力的装置(112,208),其中,材料(104)借助于压力施加装置(112,208)施加的压力从容器中喷出从而从喷嘴(108)形成流体柱(118)。产生压力调制的装置(122,214)设置在喷嘴(108)附近并用于从流体柱(118)中形成液滴(120)。系统还包括在液滴从充电环(126,216)通过时在选中的液滴(120)感生电荷的充电环(126,216)。一个或多个偏转板(128,218)用于改变带电液滴(120)的轨迹。
申请公布号 CN1612674A 申请公布日期 2005.05.04
申请号 CN200410090538.2 申请日期 2004.11.01
申请人 惠普开发有限公司 发明人 C·C·杨;G·吉布森
分类号 H05K3/12;H05K3/10 主分类号 H05K3/12
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 杨凯;梁永
主权项 1.一种输送材料(104)到基片(106)上的系统(100、150、160、202),所述系统(100、150、160、202)包括:喷射组件,所述喷射组件包括:盛装所述材料(104)的容器(102),所述容器(102)具有所述材料(104)从所述容器(102)喷出时所经过的喷嘴(108);位于所述容器(102)和所述喷嘴(108)之间的拱形部分(110,110’),其中,所述材料(104)经过所述拱形部分(110,110’)和所述喷嘴(108)从所述容器(102)喷出;用于在所述容器(102)内的所述材料(104)上施加压力的压力施加装置(112,208),其中,所述材料(104)借助于所述压力施加装置(112)施加的压力从所述容器(102)喷出,从而从所述喷嘴108产生所述材料(104)的柱(118);以及设置在所述喷嘴108附近用于产生压力调制(122,214)的装置,所述压力调制装置(122,214)配置成对从所述材料柱(118)形成液滴(120)的过程进行调节;充电环(126,216),所述液滴(120)穿过所述充电环(126,216),所述充电环(126,216)配置成在选中的液滴(120)上感生电荷;以及用于改变带电液滴(120)的轨迹的一个或多个偏转板(128,218)。
地址 美国德克萨斯州