衬底加热装置和多室衬底处理系统

摘要

本申请公开了一种衬底加热装置，包括将装料锁定室的内部分成两个区域的隔板。位于隔板中的内部开口由隔离阀关闭，同时通过抽气管道使衬底被输送到其中的第二区域抽空到真空压力。打开隔离阀之后，载体穿过内部开口传送衬底，从而将衬底接触到设置在第一区域中的加热体上。以另外的方式，打开隔离阀之后，载体穿过内部开口传送加热体，从而在第二区域中将衬底接触到加热体上。本申请同样公开了一种衬底处理系统，包括输送室和都位于输送室周围的装料锁定室和处理室。

主权项

1、一种衬底加热装置，包括：真空室，其包括抽气管道；加热体，在真空室中加热接触在其上的衬底；隔板，其将真空室的内部分成第一和第二两个区域；位于隔板中的内部开口，所述加热体能够穿过该内部开口；关闭该内部开口的隔离阀；输送开口，位于真空室的壁中，穿过该输送开口将该衬底从大气外部输入和将该衬底输出到该大气外部；关闭该输送开口的输送阀；保持器，将衬底保持在真空室的第二区域中；载体，传送加热体穿过内部开口；所述输送开口和所述输送阀都位于第二区域；所述第一区域通常由抽气管道抽空到真空压力；当将该衬底从大气外部输入和将该衬底输出到大气外部时，所述第二区域处于大气压力，而当隔离阀打开时，由抽气管道将所述第二区域抽空到真空压力；在所述衬底被输送到第二区域并且输送开口由输送阀关闭之后，抽气管道将该第二区域抽空；所述加热体设置在第一区域；在第二区域由抽气管道抽空到真空压力之后打开所述隔离阀；打开隔离阀之后，载体传送加热体穿过内部开口，从而将衬底接触到加热体上。