Verfahren, um optische Beugungselemente herzustellen

摘要

Ein Verfahren zum Bilden einer Beugungslinse umfaßt ein Bilden einer Ätzstopschicht auf einer ersten Oberfläche eines Siliziumsubstrats, ein Bilden eines optischen Beugungselements über der Ätzstopschicht, ein Bilden einer Planarisierungsschicht, die das optische Beugungselement bedeckt, ein Planarisieren der Planarisierungsschicht, ein Bilden einer Verbindungsschicht auf der Planarisierungsschicht, ein Verbinden eines transparenten Substrats auf der Verbindungsschicht und ein Ätzen einer zweiten Oberfläche des Siliziumsubstrats zu der Ätzstopschicht, um einen Abschnitt des Siliziumsubstrats gegenüber dem optischen Beugungselement zu entfernen, wobei der verbleibende Abschnitt des Siliziumsubstrats einen Verbindungsring bildet.