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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TREATING PFC GAS OF LARGE VOLUME
摘要
申请公布号 KR20050041129(A) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 KR20030076183 申请日期 2003.10.30
申请人 KIM, SEOK HYUN;PARK, SANG SEO 发明人 KIM, SEOK HYUN;PARK, SANG SEO
分类号 F23G7/06;(IPC1-7):F23G7/06 主分类号 F23G7/06
代理机构 代理人
主权项
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