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发明名称 Verfahren zur Erzeugung von Wasserdampf
摘要
申请公布号 DE69829543(D1) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 DE19986029543 申请日期 1998.12.08
申请人 FUJIKIN INC., OSAKA;HITACHI, LTD. 发明人 MINAMI, YUKIO;KAWADA, KOJI;TANABE, YOSHIKAZU;IKEDA, NOBUKAZU;MORIMOTO, AKIHIRO
分类号 C01B5/00;F22B1/00;H01L21/316;(IPC1-7):F22B1/00 主分类号 C01B5/00
代理机构 代理人
主权项
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