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发明名称 Semiconductor processing apparatus and electrode member therefor
摘要
申请公布号 EP1300871(A3) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 EP20020256812 申请日期 2002.09.30
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 NATSUHARA, M.;NAKATA, H.;KUIBIRA, A.
分类号 H05B3/02;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/683;H05B3/03;H05B3/10;H05B3/74;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05B3/02
代理机构 代理人
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