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发明名称 Photonische Vorrichtung aus hoch-reinem Molybdenum Oxid
摘要
申请公布号 DE04011665(T1) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 DE20040011665T 申请日期 2004.05.17
申请人 KATODA, TAKASHI 发明人 KATODA, TAKASHI
分类号 H01L21/365;H01L31/0264;H01L31/04;H01L31/10;H01L33/12;H01L33/26;H01S5/32;H01S5/327;(IPC1-7):H01L31/026;H01L33/00 主分类号 H01L21/365
代理机构 代理人
主权项
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