| 摘要 |
Die Erfindung schafft eine Stempelvorrichtung (100) für softlithografische Prozesse, die einen Basiskörper (101), der aus einem Polymermaterial (106) ausgeführt ist und mindestens eine strukturierte Stempeloberfläche (104) des Basiskörpers (101) umfasst, die ein vorgebbares Oberflächenrelief (103) aufweist, wobei die Stempeloberfläche (104) mittels eines Abdrucks von einem Masterelement (105), das ein vorgegebenes Primär-Oberflächenrelief (107) aufweist, strukturiert ist, wobei das Polymermaterial (106) des Basiskörpers (101) Nanoelemente (102) enthält.
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