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发明名称 Chemical vapor deposition unit
摘要
申请公布号 EP1528122(A1) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 EP20040024771 申请日期 2004.10.18
申请人 SYSNEX CO., LTD. 发明人 LEE, KYEONG, HA;KIM, SANG, CHUL;JUNG, DO, II;PARK, HYUN, SOO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/455 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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