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发明名称
PHOTORESIST COMPOSITIONS WITH CYCLIC OLEFIN POLYMERS HAVING LACTONE MOIETY
摘要
申请公布号
KR100487205(B1)
申请公布日期
2005.05.04
申请号
KR20010018124
申请日期
2001.04.06
申请人
发明人
分类号
G03F7/028;(IPC1-7):G03F7/028
主分类号
G03F7/028
代理机构
代理人
主权项
地址
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