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发明名称
HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN HALBLEITERBAUELEMENT
摘要
申请公布号
DE50202631(D1)
申请公布日期
2005.05.04
申请号
DE20025002631
申请日期
2002.04.11
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
BEWERSDORFF-SARLETTE, ULRIKE;SCHNEEGANS, MANFRED;JAEGER, WOLFGANG;WEGE, STEPHAN
分类号
H01L21/28;H01L21/321;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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