发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN HALBLEITERBAUELEMENT
摘要
申请公布号 DE50202631(D1) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 DE20025002631 申请日期 2002.04.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BEWERSDORFF-SARLETTE, ULRIKE;SCHNEEGANS, MANFRED;JAEGER, WOLFGANG;WEGE, STEPHAN
分类号 H01L21/28;H01L21/321;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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