发明名称 Integrierte Schichtstapel-Anordnung, optischer Sensor und Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schichtstapel-Anordnung
摘要 Es ist eine Mehrzahl von übereinander angeordneten Schichtstapeln vorgesehen, wobei jeder Schichtstapel eine Metallschicht und eine Dielektrikumsschicht aufweist. Über einer Photodiode ist ein Graben angeordnet, der sich zumindest durch einen Teil der Schichtstapel hindurch erstreckt, so dass auftreffendes Licht entlang des Grabens auf die Photodiode geführt wird.
申请公布号 DE10345453(A1) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 DE20031045453 申请日期 2003.09.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HOLZ, JUERGEN
分类号 H01L27/144;H01L31/0232;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/023;H01L27/146;H01L31/020;H04N5/335 主分类号 H01L27/144
代理机构 代理人
主权项
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