发明名称 Method for manufacturing a single electron device by electro-migration of nanoclusters and corresponding single electron device
摘要
申请公布号 EP1528039(A1) 申请公布日期 2005.05.04
申请号 EP20040025635 申请日期 2004.10.28
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 MASCOLO, DANILO;SCALDAFERRI, ROSSANA;NAPOLITANO, TERESA;CASUSCELLI, VALERIA;OCCHIPINTI, LUIGI
分类号 B82B1/00;B82B3/00;H01L21/335;H01L29/76;H01L49/00;(IPC1-7):B82B3/00 主分类号 B82B1/00
代理机构 代理人
主权项
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