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发明名称
Method for manufacturing a single electron device by electro-migration of nanoclusters and corresponding single electron device
摘要
申请公布号
EP1528039(A1)
申请公布日期
2005.05.04
申请号
EP20040025635
申请日期
2004.10.28
申请人
STMICROELECTRONICS S.R.L.
发明人
MASCOLO, DANILO;SCALDAFERRI, ROSSANA;NAPOLITANO, TERESA;CASUSCELLI, VALERIA;OCCHIPINTI, LUIGI
分类号
B82B1/00;B82B3/00;H01L21/335;H01L29/76;H01L49/00;(IPC1-7):B82B3/00
主分类号
B82B1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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