发明名称 | 弹性表面波元件和电子机器 | ||
摘要 | 本发明可以提供各种特性(特别是温度特性)优良的弹性表面波元件和具备这样的弹性表面波元件的电子机器。本发明的弹性表面波元件(1)具有作为基板(2)的用(0、θ、ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板,具有设在该基板(2)上的IDT3和反射器(4、5)。IDT3以Al作为主成分构成,配置成使弹性表面波的传播方向和水晶旋转Y板的X轴的形成的角度ψ成为90±10°,并以满足下述关系A那样设定IDT3的规格化膜厚H/λ和切割角θ:[关系A] θmin≤θ≤θmax(其中θ=129~144°) θmin=857.06(H/λ)<SUP> 2</SUP>+23.656(H/λ)+123.68 θmax=2502.4(H/λ)<SUP> 2</SUP>+73.1(H/λ)+121.7。 | ||
申请公布号 | CN1612471A | 申请公布日期 | 2005.05.04 |
申请号 | CN200410086901.3 | 申请日期 | 2004.10.20 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 船坂司;押尾政宏 |
分类号 | H03H9/145 | 主分类号 | H03H9/145 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
主权项 | 1.一种弹性表面波元件,其特征在于,具有:用(0、θ、Ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板;和梳形电极,其设在该水晶旋转Y板上、具有将电信号转变为在上述水晶旋转Y板的表面附近传播的弹性表面波的功能和/或将在上述水晶旋转Y板的表面附近传播的弹性表面波转变为电信号的功能,其中,上述梳形电极以Al作为主成分构成,配置成上述弹性表面波的传播方向和上述水晶旋转Y板的X轴的形成的角度Ψ成为90±10°,以满足以下所示的关系A那样设定上述梳形电极的规格化膜厚H/入(H表示梳形电极的平均厚度,λ表示弹性表面波的波长)和切割角θ:[关系A]θmin≤θ≤θmax(其中θ=129~144°)θmin=857.06(H/λ)2+23.656(H/λ)+123.68θmax=2502.4(H/λ)2+73.1(H/λ)+121.7 | ||
地址 | 日本东京 |