发明名称 |
压电振动片、压电器件及制造方法、便携电话、电子设备 |
摘要 |
本发明提供一种频率偏差相对温度变化的变化小、温度特性优越的压电振动片、压电器件及其制造方法、便携电话、电子设备。具有基部(51)和从基部(51)平行延伸的多个振动臂(34、35),在基部(51)上设置有切口部(100),在振动臂(34、35)的表面部和内面部上形成有槽部(56、57),在振动臂(34、35)的至少槽部(56、57)中设置有驱动用电极,驱动用电极具有底层(75A)和在底层(75A)上形成的电极层(75B),底层(75A)的厚度t为0.07μm<t<0.3μm的范围。 |
申请公布号 |
CN1612472A |
申请公布日期 |
2005.05.04 |
申请号 |
CN200410086810.X |
申请日期 |
2004.10.28 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
棚谷英雄;城仓寿成;大城敦史 |
分类号 |
H03H9/17;H03H3/02 |
主分类号 |
H03H9/17 |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
权鲜枝 |
主权项 |
1.一种压电振动片,其特征在于:具有基部和从上述基部平行延伸的多个振动臂,上述基部上设有切口部,在上述振动臂的表面部和内面部上形成有槽部,在上述振动臂的至少上述槽部中设有驱动用电极,上述驱动用电极具有底层和在上述底层上形成的电极层,上述底层的厚度t为0.07μm<t<0.3μm的范围。 |
地址 |
日本东京 |