Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Zugspannungsmembran mit einer Druckspannungsregion

摘要

Eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Herstellen einer Verbundzugspannungsmembran, die eine Nanopore aufweist. Die Vorrichtung stellt eine Zugspannungsschicht bereit, die in Kontakt mit einer Druckspannungsschicht steht. Eine kleine Region der Zugspannungsschicht wird entfernt, um einen kleinen Abschnitt der Druckspannungsschicht freizulegen. Die Druckspannungsregion der Zugspannungsschicht ist klein genug, um das Wölben oder Faltenwerfen des Materials zu vermeiden. Die Vorrichtung weist ein Länge-Dicke-Verhältnis von 10 zu 60 auf. Ebenfalls offenbart ist ein Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung.