发明名称 METHOD FOR FABRICATING ELECTRODES IN THE SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING NONO-SIZE SCALE
摘要
申请公布号 KR20050040165(A) 申请公布日期 2005.05.03
申请号 KR20030075228 申请日期 2003.10.27
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 JANG, MOON GYU;KIM, YARK YEON;LEE, SEONG JAE;SHIH, JAE HEON
分类号 H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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