发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE WITH TEST ELEMENT GROUPS
摘要
申请公布号 KR100487530(B1) 申请公布日期 2005.05.03
申请号 KR20020044225 申请日期 2002.07.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R31/28;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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