发明名称 Wafer guides used in cleaning/drying process of semiconductor substrates
摘要
申请公布号 KR100487541(B1) 申请公布日期 2005.05.03
申请号 KR20020053755 申请日期 2002.09.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B65D25/10;H01L21/00;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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