| 发明名称 |
EXPOSURE APPARATUS FOR USE IN SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050040188(A) |
申请公布日期 |
2005.05.03 |
| 申请号 |
KR20030075318 |
申请日期 |
2003.10.28 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KOO, JA GYUN |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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