发明名称 METHOD FOR FILLING OF HIGH PURITY NITROGEN TRIFLUORIDENF3
摘要
申请公布号 KR100486932(B1) 申请公布日期 2005.05.03
申请号 KR20010068504 申请日期 2001.11.05
申请人 发明人
分类号 F17C5/06;(IPC1-7):F17C5/06 主分类号 F17C5/06
代理机构 代理人
主权项
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