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发明名称 FERROELECTRIC CAPACITOR HAVING METAL OXIDE FOR PROHOBITING FATIGUE AND METHOD OF FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100487528(B1) 申请公布日期 2005.05.03
申请号 KR20020035929 申请日期 2002.06.26
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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