测试装置

摘要

一种测试装置，具有测试模组、主信号供给部，及从信号供给部。测试模组是供给至电子元件。主信号供给部是依照被给予的时序信号之相位而生成第一时序信号，并将之供给到测试模组。从信号给供部是接收自主信号供给部而来的时序信号，生成第2时序信号并供给到测试模组，此第2时序信号是用以控制测试模组提供给电子元件的测试图案。从信号供给部具有相位调整电路，其藉由延迟自主信号供给部接收的时序信号，使主信号供给部输出第1时序信号的时序，与从信号供给部输出第2时序信号的时序约略相同。