湿度感测元件、装置及其制造方法

摘要

本发明系提供一种湿度感测元件、装置及其制造方法，该湿度感测元件系包含：一基板，其表面承载一奈米碳管／含酸基之氟化高分子之奈米复合材料层作为感测材料；及至少一对电极，其一端与该感测材料相接；其中奈米碳管／含酸基之氟化高分子混合比例系为重量比值0.01–20。此一奈米复合材料层能提高湿度感测元件之灵敏度，可用于量测微量的水份，该湿度感测元件最低侦测极限达到15.76ppmv。