| 摘要 |
本创作乃是一种探针振荡式原子力扫描显微仪之探针弹簧常数之校准方法，且可适用于探针已安装于探针夹内，直接对探针悬臂梁之弹簧常数校准之一种方法。本创作之校准方法乃于探针安装后、正式量测前，队悬臂梁施以独立之振荡，量测探针悬臂梁之阻尼自然频率，及悬臂梁于操作环境状态下，阻尼相位角等于90度时之频率，依据该二频率及本创作之公式，计算出系统之悬臂梁阻尼比与无阻尼自然频率，并进一步获得弹簧常数与阻尼之关系。另一方面，由系统之消耗能量与补充能量之相等关系，找出阻尼与系统耗能之关系，最后可以导出弹簧常数与耗能之关系。由于本校准方法是以探针就定位后，以动态振荡达成弹簧常数之校准，因此，过程快速、杂讯低，也不需要提供额外标准件，更不会探损伤针，故校准比较可靠、实用。此外，由于本创作之校准方法是以耗能为校准基础，故适用于各种操作条件。 |
