低电阻T型脊构造LOW RESISTANCE T-SHAPED RIDGE STRUCTURE

摘要

一种提供低电阻互连的方法和装置。空隙界定于接近活性层的牺牲层。后被覆盖层形成于空隙中和牺牲层邻接空隙的部分上。脊区界定于后被覆盖层，部分的牺牲层除去以在脊区下于后被覆盖层中界定胫区。脊区的横向尺寸大于胫区，降低活性层与要电性耦合脊区之电互连间的电阻。