溅镀制程中防玻璃碰伤之装置

摘要

一种溅镀制程中防玻璃碰伤之装置，系由放片框、多个夹片、及多个定位装置所构成。放片框系为内部镂空之框体。多个夹片分别散布于放片框之内侧边缘。多个定位装置分别散布于放片框之内侧边缘，每一定位装置系由圆柱体及包覆圆柱体之软质护套所构成。由上述可知，在本发明之载具中，定位装置与玻璃基板之间的定位方式系采取单一点或单一直线之相互接触方式进行定位，因此，本发明之定位方式系具有最少的接触磨擦面积，且接触点为软质胶套，非硬质金属，而可大幅减少玻璃基板发生缺角或裂纹的机率，进而可提高生产良率。

主权项

1.一种溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,包括:一放片框,系为内部镂空的框体;复数个夹片,分别散布于该放片框之内侧边缘;以及复数个定位装置,分别散布于该放片框之内侧边缘,每一该些定位装置系由一圆柱体及包覆该圆柱体之一软质护套所构成。2.如申请专利范围第1项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,其中该圆柱体之材质包括金属。3.如申请专利范围第1项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,其中该软质护套包括环形工程塑胶护套。4.如申请专利范围第1项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,其中该软质护套之材质包括橡胶。5.如申请专利范围第1项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,其中该些夹片包括弹簧片。6.一种溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,包括:一放片框,系为内部镂空的框体;复数个夹片,分别散布于该放片框之内侧边缘;以及复数个定位装置,分别散布于该放片框之内侧边缘,每一该些定位装置系为一具弧状曲面之结构。7.如申请专利范围第6项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,其中该具弧状曲面之结构包括圆柱体。8.如申请专利范围第6项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,更包括一软质护套,该软质护套系包覆该具弧状曲面之结构。9.如申请专利范围第8项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,其中该软质护套包括环形工程塑胶护套。10.如申请专利范围第8项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,其中该软质护套之材质包括橡胶。11.如申请专利范围第6项所述之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置,其中该些夹片包括弹簧片。图式简单说明:第1图所示为习知之溅镀制程中所使用之载具在装载玻璃基板之前的示意图。第2图所示为习知之溅镀制程中所使用之载具在装载玻璃基板之际的示意图。第3图所示为本发明之一较佳实施例之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置在装载玻璃基板之前的示意图。第4图所示为本发明之一较佳实施例之溅镀制程中防玻璃碰伤之装置在装载玻璃基板之际的示意图。第5图所示为第3图之定位装置的局部示意图。