晶圆生产设备之储存/备份装置

摘要

本创作系有关于一种晶圆生产设备之储存／备份装置，其主要系包括一架体系设于该晶圆生产设备之机台中且并与该设备之控制系统连接，于该架体上系设有一虚拟模组、一读写模组、一工作硬碟及一备份硬碟，其中该虚拟模组系可提供该控制系统所需之辨识资料，以使该控制系统可透过该虚拟模组而读写该工作硬碟及备份硬碟，该读写模组系供控制及监督该工作硬碟及备份硬碟之读写工作，而该工作硬碟及备份硬碟系以便于插拔连接之方式设于该架体上，如此控制系统于便可透过虚拟模组及读写模组读取工作硬碟之资料，及将资料同时写入工作硬碟及备份硬碟中，而当工作硬碟读取失败时，便会直接读取备份硬碟，且并将警示讯号传送至控制系统，藉此以达到降低成本及减少资料遗失之风险等目的者。

主权项

1.一种晶圆生产设备之储存/备份装置,其中该晶圆生产设备之机台中系设有一控制系统及一容置空间,而该储存/备份装置系包括:一架体,系固设于该容置空间中,且于该架体上设有两滑槽,可分别供一工作硬碟盒及一备份硬盒插设,其中该工作作硬碟盒中系有一工作硬碟,而该备份硬碟盒中则设有一备份硬碟;一虚拟模组,系设于该架体上且可提供该控制系统所需之辨识资料;一读写模组,系与该虚拟模组连通,且并可控制及监督该工作硬碟及备份硬碟之读写工作。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆生产设备之储存/备份装置,其中该架体之两滑槽下方系各设有一锁具,可供将该工作硬碟盒及备份硬碟盒锁设于该滑槽之中。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆生产设备之储存/备份装置,其中该储存/备份装置更包括一控制电路板,而该虚拟模组及读写模组系设于该控制电路板上。4.如申请专利范围第3项所述之晶圆生产设备之储存/备份装置,其中该控制系统系设有一SCSI介面排线及一电源线,而该控制电路板上则设有一SCSI介面插座及一电源插座可分别供该SCSI介面排线及电源线插设连接。5.如申请专利范围第3项所述之晶圆生产设备之储存/备份装置,其中该工作硬碟盒及备份硬碟盒之后侧系分别各设有一连接头,而该控制电路板上亦设有两连接插座可分别供工作硬碟盒及备份硬碟盒之连接头及备份硬碟盒之连接头插设连接。6.如申请专利范围第3项所述之晶圆生产设备之储存/备份装置,其中该工作硬碟及备份硬碟系皆为一2.5寸之IDE介面硬碟。7.如申请专利范围第1项所述之晶圆生产设备之储存/备份装置,其中该工作硬碟盒及备份硬碟盒上系皆设有一可旋摆一角度之拉把,可供方便其于滑槽中插拔。8.如申请专利范围第1项所述之晶圆生产设备之储存/备份装置,其中该架体之尺寸约为宽38mm~40mm、高100mm~128.5mm、长150mm。图式简单说明:第一图,系本创作之使用实施例。第二图,系本创作之立体分解图。第三图,系本创作之后侧之立体图。第四图,系本创作之系统方块图。