| 主权项 |
1.一种承载光罩盒之光罩盒架,该光罩盒至少包括 一下盖、一上盖与一前盖,该上盖系以一第一转轴 装设于该下盖,以使该上盖可相对于该下盖向上开 启,该前盖系以一第二转轴装设于该上盖相对于该 第一转轴之另一侧,以使该前盖可相对于该上盖向 前开启,该下盖装设一扣件组用以将该上盖固定于 该下盖上,该光罩盒架包括有: 一盒架主体; 复数个光罩盒承座,系由上而下依序排列于该盒架 主体上用以承载该光罩盒; 一垂直导轨,系装设于该光罩盒承座前方;以及 一移动式开门组件,系套合于该垂直导轨,更包括 一开门器用以开启该前盖、一主侦测器用以侦测 该前盖之开启状态与一副侦测器用以侦测该扣件 组是否将该上盖固定于该下盖上。 2.如申请专利范围第1项承载光罩盒之光罩盒架,其 中之移动式开门组件系可以沿该垂直导轨移动至 该光罩盒承座前方,藉此,该开门器可以开启该前 盖。 3.如申请专利范围第1项之承载光罩盒之光罩盒架, 其中之开门器开启该前盖时,该前盖接触触发该主 侦测器。 4.如申请专利范围第1项之承载光罩盒之光罩盒架, 其中之副侦测器系装设于该主侦测器与该光罩盒 承座之间,并且位于该主侦测器上方一定距离,当 该开门器开启该前盖且该扣件组固定该上盖时,该 前盖不会接触触发该副侦测器,而当该开门器开启 该前盖且该扣件组未固定该上盖时,该前盖接触触 发该副侦测器。 5.如申请专利范围第1项之承载光罩盒之光罩盒架, 其中之该主侦测器与该副侦测器均为开关元件,而 且,该主侦测器装设于一第一电路使成一常闭电路 ,该副侦测器装设于一第二电路使成一常开电路, 同时,该第一电路与该第二电路系并联成一电路回 路,藉此,当该开门器开启该前盖时,该前盖接触触 发该主侦测器,以驱使该第一电路由闭合切换至中 断,而当该扣件组未固定该上盖且该开门器开启该 前盖时,该上盖除了接触触发该主侦测器外,亦接 触触发该副侦测器,以驱使该第二电路由中断切换 至闭合。 图式简单说明: 图一为一习用之光罩盒之示意图。 图二为一采用光学方式侦测之光罩盒架之示意图 。 图三A与图三B为一采用接触触发方式侦测之光罩 盒架之示意图。 图四为图三中之光罩盒架侦测光罩盒前盖开启与 否之流程与相对应之电路状态示意图。 图五为图三中之光罩盒架侦测该光罩盒前盖开启 状态发生误判之示意图。 图六为本发明之侦测器与光罩盒架之示意图。 图七A与图七B为图六中之光罩盒架在光罩盒前盖 正常开启状态下,侦测之流程与相对应之电路状态 示意图。 图八A与图八B为图六中之光罩盒架在光罩盒前盖 不正常开启状态下,侦测之流程与相对应之电路状 态示意图。 |
