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发明名称 Apparatus for the simultaneous deposition by physical vapor deposition and chemical vapor depositionand method therefor.
摘要
申请公布号 HK1046538(A1) 申请公布日期 2005.04.29
申请号 HK20020108039 申请日期 2002.11.05
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 DOTTER, BUDDIE, R., II.;JOACHIM DOEHLER;TIMOTHY ELLISON;MASATSUGU IZU;OVSHINSKY, HERBERT, C.
分类号 C23C14/34;C23C14/56;C23C16/02;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):C23C 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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