| 发明名称 |
MICRORESONATEUR MEMS A ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME ACCORDABLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2835981(B1) |
申请公布日期 |
2005.04.29 |
| 申请号 |
FR20020001759 |
申请日期 |
2002.02.13 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
ROBERT PHILIPPE |
| 分类号 |
B81B3/00;H03H9/17;H03H9/24;(IPC1-7):H03H9/15;B81B7/02 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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