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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING INTEGRATED ALIGNMENT KEY FORMED IN EDGE REGION OF A WAFER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050039455(A) 申请公布日期 2005.04.29
申请号 KR20030074924 申请日期 2003.10.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHO, HAN KU;GOO, DOO HOON;JUNG, SUNG GON;LEE, JUNG HYEON;PARK, CHANG MIN
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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