发明名称 SEMICONDUCTOR CLEANING EQUIPMENT HAVING POLLUTION PREVENTION UNIT
摘要
申请公布号 KR20050039060(A) 申请公布日期 2005.04.29
申请号 KR20030074422 申请日期 2003.10.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, TAE DONG;PARK, SUNG SIK;PARK, YEONG LYEOL
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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