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发明名称 POLYMERS, RESIST COMPOSITIONS AND PATTERNING PROCESS
摘要
申请公布号 KR20050039680(A) 申请公布日期 2005.04.29
申请号 KR20040085121 申请日期 2004.10.23
申请人 CENTRAL GLASS KK;MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 ENDO, MASAYUKI;HARADA, YUJI;HATAKEYAMA, JUN;KAWAI, YOSHIO;KISHIMURA, SHINJI;KOMORIYA, HARUHIKO;MAEDA, KAZUHIKO;SASAGO, MASARU;YAMANAKA, KAZUHIRO
分类号 C08G61/02;C08F216/14;C08F220/24;G03C1/10;G03C1/492;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/085;(IPC1-7):C08G61/02 主分类号 C08G61/02
代理机构 代理人
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