| 发明名称 |
SUBSTRATE CLEANING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050038761(A) |
申请公布日期 |
2005.04.29 |
| 申请号 |
KR20030073997 |
申请日期 |
2003.10.22 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
YEO, IN JOON |
| 分类号 |
H01L21/304;B08B3/10;B08B3/12;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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