| 发明名称 |
PROCEDE DE TRANSFERT D'ELEMENTS DE SUBSTRAT A SUBSTRAT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2837620(B1) |
申请公布日期 |
2005.04.29 |
| 申请号 |
FR20020003693 |
申请日期 |
2002.03.25 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
ASPAR BERNARD;RAYSSAC OLIVIER;FOURNEL FRANCK |
| 分类号 |
H01L21/67;H01L21/68;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/58 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
