摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf eine Positionsmesseinrichtung zur Erzeugung eines Messsignals mit einer Spur (12), die eine entlang einer Messrichtung (x) erstreckte Inkrementalteilung (13, 14) mit einer definierten Teilungsperiode (TP¶INC¶) aufweist, die mindestens einer Unstetigkeit der Inkrementalteilung (13, 14) an einer Referenzposition (x¶REF¶) zur Erzeugung eines Referenzsignals (REF) und die einer entlang der Messrichtung (x) relativ zu der Spur (12) beweglichen Abtasteinheit (2) zur Abtastung der Inkrementalteilung (13, 14), wobei die mindestens eine Unstetigkeit durch eine Modifikation einer senkrecht zur Messrichtung (x) erstreckten Transversal-Substruktur der Inkrementalteilung (13, 14) gebildet wird, die von der Abtasteinheit (2) stammende Strahlungsbündel (S) ablenkt, wobei die Ablenkrichtung an der Unstetigkeit von der Ablenkrichtung in anderen Bereichen der Inkrementalteilung (13, 14) abweicht und wobei die Abtasteinheit (2) mindestens zwei Referenzimpuls-Detektoren (25.1, 25.2; 25.4, 25.5) aufweist, die zum Empfang von Strahlungsbündeln (S¶T1¶, S¶T2¶) mit unterschiedlicher Ablenkrichtung vorgesehen sind. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass vor den Referenzimpuls-Detektoren (25.1, 25.2; 25.4, 25.5) mindestens eine Abbildungsoptik (20) in dem Strahlengang des jeweiligen abgelenkten Strahlungsbündels (S¶T1¶, S¶T2¶) angeordnet ist.
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