| 发明名称 |
HIGH K ARTIFICIAL LATTICES FOR CAPACITOR APPLICATIONS TO USE IN CU OR AL BEOL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG110077(A1) |
申请公布日期 |
2005.04.28 |
| 申请号 |
SG20030006277 |
申请日期 |
2003.10.16 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. |
发明人 |
SUBRAMANIAN BALAKUMAR;CHEW-HOE ANG;JIA ZHEN ZHENG;PAUL PROCTOR |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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