摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Bauteils zur Absorption und/oder Emission von Strahlung mit den Schritten des Abdünnens eines Substrats und dem Herstellen eines Absorptions- und/oder Emissionselements im Bereich der Abdünnung, wobei das Absorptions- und/oder Emissionselement (3) durch Herausarbeiten aus einem Material (4, 9) des Substrats (4, 7, 8, 9) hergestellt wird. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung (1) zur Absorption und/oder Emission von Strahlung, mit einem in einem abgedünnten Bereich (2) eines Substrats (4, 7, 8, 9) angeordneten Absorptions- und/oder Emissionselement (3), wobei das Absorptions- und/oder Emissionselement (3) das gleiche Material (4, 9) wie ein Material (4, 9) des Substrats (4, 7, 8, 9) umfasst. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Analyse von Fluiden durch Emission von Strahlung durch ein Emissionselement, Durchtritt der Strahlung durch einen Bereich, der mit einem Fluid füllbar ist, und Absorption der Strahlung, wobei die Emission und/oder die Absorption der Strahlung mit einer obigen Vorrichtung (1) oder einer nach dem obigen Verfahren hergestellten Vorrichtung erfolgt.
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