| 发明名称 |
GASGEFÜLTER RÜCKSTREVELEKTRONENDETEKTOR FÜR RASTERELEKTRONENMIKROSKOP UNTERKONTROLLIERTER UMGEBUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69924325(D1) |
申请公布日期 |
2005.04.28 |
| 申请号 |
DE19996024325 |
申请日期 |
1999.01.18 |
| 申请人 |
FEI CO., HILLSBORO |
发明人 |
KNOWLES, RALPH;HARDT, A.;SMITH, D. |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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