| 发明名称 |
PROJECTION OPTICAL SYSTEM FOR MASKLESS LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG110099(A1) |
申请公布日期 |
2005.04.28 |
| 申请号 |
SG20040003819 |
申请日期 |
2004.06.23 |
| 申请人 |
ASML HOLDING N.V. |
发明人 |
STANISLAV SMIRNOV;MARK OSKOTSKY |
| 分类号 |
G02B26/08;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
