发明名称 Verfahren zur Herstellung von Kontakten für integrierte Schaltungen
摘要
申请公布号 DE10133873(B4) 申请公布日期 2005.04.28
申请号 DE2001133873 申请日期 2001.07.12
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 WANG, KAE-HORNG;STAUB, RALF;KROENKE, MATTHIAS
分类号 H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/283;H01L21/824 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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