| 发明名称 |
LARGE FIELD OF VIEW PROJECTION OPTICAL SYSTEM WITH ABERRATION CORRECTABILITY FOR FLAT PANEL DISPLAYS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG110098(A1) |
申请公布日期 |
2005.04.28 |
| 申请号 |
SG20040003806 |
申请日期 |
2004.06.30 |
| 申请人 |
ASML HOLDING N.V. |
发明人 |
ROBERT D. HARNED;PATRICK DE JAGER;CHENG-QUN GUI |
| 分类号 |
G02B17/00;G02B17/06;G03B27/52;G03F7/20;G09F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G03F7/00 |
主分类号 |
G02B17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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