双盘连接基片装置及使用方法

摘要

一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置及使用方法，该装置由固定盘、外接盘和基片盖板构成，该固定盘的中心开有一轴套孔，该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔；该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对应处也开设N个尺寸相同的通孔，其中N为大于2的正整数；该外接盘依据基片的大小和形状开设一基片槽；基片盖板与基片槽相对应配套，该基片槽和基片盖板的相同部位分别开设有螺孔和通孔。采用本发明使Veeco射频离子束溅射镀膜机的镀膜面积由原来的68cm²扩大到660cm²；避免了对基片特殊形状的苛刻要求，减少了基片的浪费，节约了成本；本夹具装卸方便，使用灵活；尤其是外接盘，可以根据样品的不同尺寸和形状，进行有针对性的设计。

主权项

1、一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置，其特征在于它由一个固定盘(1)、外接盘(2)和基片盖板(3)构成，该固定盘(1)的中心开有一轴套孔(11)，该固定盘(1)的边缘设有N个不穿透的螺孔(12)；该外接盘(2)的边缘与固定盘(1)的螺孔(12)相对应处也开设N个尺寸相同的通孔(21)，其中N为大于2的正整数；该外接盘(2)依据基片的大小和形状开设一基片槽(22)；基片盖板(3)与基片槽(22)相对应配套，该基片槽(22)和基片盖板(3)的相对应的部位分别开设有螺孔(23)和通孔(31)，所述固定盘(1)在下面，外接盘(2)在上面，二者靠穿过螺孔(12)和通孔(21)的螺杆连接，所述基片盖板(3)则利用螺钉穿入通孔(31)和螺孔(23)固定在外接盘(2)上面。