发明名称 尿胺衍生物气相缓蚀剂的制备方法
摘要 本发明公开了一种脲胺衍生物气相缓蚀剂的制备方法,向仲胺溶液中滴加甲醛,在常温下均匀混合1~3小时,然后向上述反应液中加入脲素或硫脲或二者的混合物,加热回流、冷却、过滤,得到下列通式(I)或(II)的吗啉衍生物气相缓蚀剂产品:本发明制备的脲胺衍生物均不含亚硝酸盐,具有适合于作为气相缓蚀剂的挥发性,不吸潮。
申请公布号 CN1609276A 申请公布日期 2005.04.27
申请号 CN200410084396.9 申请日期 2004.11.22
申请人 上海电力学院 发明人 张大全;安仲勋;车德竞;周国定
分类号 C23F11/02 主分类号 C23F11/02
代理机构 上海申汇专利代理有限公司 代理人 吴宝根
主权项 1.一种脲胺衍生物气相缓蚀剂的制备方法,向仲胺溶液中滴加甲醛溶液,在常温下均匀混合反应1~3小时,然后向上述反应液中加入脲素或硫脲或二者的混合物,加热回流、冷却、过滤,得到下列通式(I)或(II)的脲胺衍生物气相缓蚀剂产品:
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