发明名称 |
氧化镁蒸镀材料 |
摘要 |
本发明提供可以有效地用于通过电子束蒸镀法,形成作为交流型等离子显示板的电介质层保护膜有用的氧化镁膜的氧化镁蒸镀材料。它是含有0.01~6摩尔%范围的金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物的氧化镁蒸镀材料。而且是含有氧化镁以外的碱土金属氧化物和金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物的氧化镁蒸镀材料,换算成金属元素量分别为0.005摩尔%以上,并且换算成金属元素量,该总量为6摩尔%以下。 |
申请公布号 |
CN1609262A |
申请公布日期 |
2005.04.27 |
申请号 |
CN200410095149.9 |
申请日期 |
2004.10.21 |
申请人 |
宇部材料工业株式会社 |
发明人 |
植木明;增田彰;加藤裕三 |
分类号 |
C23C14/08;B22F3/10;C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
郭煜;庞立志 |
主权项 |
1.蒸镀材料,其特征在于:作为烧结氧化镁和金属元素化合价为3价、4价或5价的任意一种的金属氧化物而得到的颗粒,该金属氧化物的含量在0.01~6摩尔%的范围。 |
地址 |
日本国山口县 |